深紫外（一般指波长短于200纳米）固态激光源是目前正在开发的一个重要的激光应用领域，是当前分析仪器发展的重要方向之一。它在提高科学仪器的空间分辨率、时间分辨率、能量分辨率方面起到重要作用。此光源的开发将极大地推动各种光电子能谱仪、激光光谱仪、激光拉曼光谱仪等高技术领域和先进仪器制造业的发展。
深紫外固态激光源科研装备可为化学、物理、信息、资源环境、生命科学等领域提供全新的研究手段，对科研活动将起到革命性的推动作用。
据悉，全球首台177.3纳米深紫外区拉曼光谱仪，全球最高空间分辨率深紫外激光光发射电子显微镜（PEEM）——最近，我国科研人员在重大科学仪器自主研制上获得两项创新成果。5月17日，由中科院组织，清华大学朱静院士任组长，清华大学、厦门大学、北京大学等机构的15位专家组成的验收委员会对中科院大连化学物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”子项目——“深紫外拉曼光谱仪研制”和“深紫外激光光发射电子显微镜的研制”项目进行审核，一致同意其通过验收。
据介绍，“深紫外拉曼光谱仪研制”项目利用我国自主研制的177.3纳米深紫外激光光源，采用外光路椭圆反射收集镜和深紫外区170~400纳米光谱响应的三联光栅成像单色仪，研制成功了国际上首台177.3纳米深紫外区拉曼光谱仪，并首次实现了193~240纳米激发波长的连续可调。该谱仪已经初步应用于催化、材料、能源等领域的拉曼光谱研究，显示出独特优势。
验收委员会在听取“深紫外拉曼光谱仪研制”项目负责人李灿院士的工作报告等，检查了仪器运转情况，并审核相关材料后表示：这种深紫外拉曼光谱仪各项性能达到了任务书要求，仪器运转正常，完成了预定的研制任务。它的成功研制将推动我国深紫外拉曼光谱仪的发展及其在催化等领域的研究，进一步保持我国在国际催化表征研究和相关研究领域的领先地位。验收委员会一致同意该项目通过验收，并建议项目组加强有关研究和仪器的下一步应用推广工作。
另一项由包信和院士领导的“深紫外激光光发射电子显微镜的研制”项目，首次将我国科学家自主研制的深紫外激光光源应用于光发射电子显微镜技术中，利用深紫外激光的高能量、高强度等特点获得了3.9纳米的空间分辨率——这是目前国际上报道的最高水平。并且，在该光发射电子显微镜系统的研制中第一次引入镜面透镜的方式实现像差矫正功能，利用半球能量分析器进行光电子的能量选择，采用场发射电子枪用于低能电子显微成像和微区电子衍射，结合深紫外激光技术，使得该系统能够实现在高空间分辨条件下的表面化学和表面结构的动态原位研究，是一套世界领先并且功能独特的表面研究平台。该系统已成功地应用于催化、材料、能源等领域的原位和动态观察，实现在变温和气氛条件下的表面过程研究，在某些领域中显示了不可替代的作用。
验收委员会认为，该项目达到了项目任务书中规定的技术指标，全面完成了预定的研制任务，一致同意其通过验收。
另据了解，“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”研制过程采用中科院国家重大科研装备研制项目新型项目管理模式，由大连化学物理研究所各管理部门组成的项目管理工作组和项目实施工作组积极推进项目实施工作。这两个项目的成功实施，为我国其他重大科学仪器的研制和发展提供了借鉴。
