制氧机爆炸的部位在某种程度上与空分设备的型式有关。在高、中压、双压流程中，发生爆炸的可能性相对较多；生产液氧的装置，主冷未发生过爆炸，而气氧装置的主冷却是爆炸的中心部位。爆炸破坏的程度与爆炸力有关，微弱的爆炸可能只破坏个别的管子，甚至未被操作人员所察觉。
冷凝蒸发器的爆炸部位，随其结构型式不同而有所不同。一般易发生在液氧面分界处，以及个别液氧流动不畅的通道，也有发生在下部管板处或上顶盖处。对辅助冷凝蒸发器，爆炸易发生在液氧接近蒸发完毕的下部。
据统计，制氧机除冷凝蒸发器外，在其他部位也发生过爆炸。计有：下塔液空进口下部；液空吸附器；上塔液空进口处的塔板；液氧排放管；液氧泵；切换式换热器冷端的氧通道；辅助冷凝蒸发器后的乙炔分离器等。
不论在哪个部位爆炸，其原因均有液氧(或富氧液空)的存在，并在蒸发过程中造成危险物的浓缩、积聚或沉淀，组成了爆炸性混合物，在一定条件下促使发生爆炸。
小型制氧机一般采用活塞式空压机，必然有少量润滑油带入塔内。同时，清除乙炔等碳氢化合物的措施也不如大型全低压制氧机完善；站址的选择条件不可能很良好。因此，爆炸事故发生较多。为此应引起足够的重视，加强安全措施。具体也注意下列问题：
1)氧气站距乙炔站的直线距离应在300m以上，氧气站附近严禁存放乙炔发生器或乱倒电石渣；
2)严格控制压缩机的润滑油量和排气温度，并勤吹除油水；
3)加强油的分离和过滤措施；
4)乙炔吸附器内应采用细孔硅胶，并应定期再生、更换。在采取增产措施时，应考虑吸附器的容量是否足够；
5)定期进行液空、液氧中乙炔含量的分析，控制在规范允许的范围内；
6)短期停车时，一般应排掉液氧。否则应化验乙炔含量，决定排放部分或全部液氧。以防乙炔积聚，在重新开车时发生爆炸；
7)将空压机、膨胀机改为无油润滑；碱洗一干燥设备改为分子筛纯化器是对旧设备较为彻底的改造办法。
