机身与外壳的清洗：家庭制氧机的机身是最容易脏的。那么在清洗机身的时候，首先要将家用制氧机的电源切断，然后用干净柔软的抹布进行擦拭，如果抹布太干，可以用占有少些水的微湿抹布擦拭，切忌将任何液体渗入到机身里，以免通电时，发生短路。
水箱的清洗：水箱的清洁直接关乎到产出的氧气是否卫生，这步很重要。为了能够保持水箱的清洁度，应加入无污染的纯净水，并且最好是每天更换一次。水箱清洗的次数应每隔五天清洗一次，最好能够用醋对其进行消毒，以保证产出的氧气卫生达标。
输氧管的清洗：输氧管与吸氧器应保持三天清洗一次，无论是鼻吸式的吸氧器还是耳挂式的最好能够使用酒精对其进行消毒，这样才能保证用氧卫生。
