18世纪80年代，人类发现氧气的存在，之后便慢慢的认识到氧在生命运动中的机理，氧气逐渐被利用到各种疾病的治疗中。 1798年，著名医生Beddoes在英格兰创办了肺病研究所，并开始了氧疗。
第一次世界大战期间，霍尔丹用氧气成功的治疗了氯气中毒，引起医疗界的轰动，氧疗被确立为一种疗法。1924年，霍尔丹给受伤士兵吸氧，战伤的死亡率大大降低，使人们对氧疗更加重视。之后，随着医学研究的不断深入，制氧技术的不断发展补给氧气慢慢成为医院的重要常规治疗手段。
20世纪60年代后期，美国医学家开始系统观察氧疗对慢性低氧血症的疗效。从70年代开始，氧疗渐渐进入家庭。
80年代初期，由于世界制氧技术的革命性突破——分子筛制氧机的研制成功以及制造技术的不断提高，家庭氧疗开始成为许多疾病出院康复期病人的一种重要治疗手段和预防病情急性发作的生命保障手段。1987年2 月，在美国召开了第一届国际家庭氧疗学术会议，会议指出：坚持家庭氧疗使一些疾病的死亡率成倍下降，生存期延长，生存质量提高，综合医疗费用下降;
氧疗指各类缺氧的治疗,除了消除引起缺氧的原因外，均可给予吸氧治疗。吸入高浓度氧使血浆中溶解氧量增加能改善组织的供氧。缺氧是指组织供氧不足或利用障碍，引起机体机能代谢甚至形态结构发生改变的一系列病理变化过程。
氧疗是利用补给氧气改善人体的生理、生化内环境，促进代谢过程的两性循环，以达到治疗疾病、缓解症状、促进康复和预防病变、增进健康的目的。
笼统的氧气疗法是指在人体缺氧或将要出现缺氧的时候，通过增加吸入气体的氧浓度，提高动脉学样含量，改善组织供养状况。具体说来，只有用于纠正病理性缺氧，作为疾病辅助治疗手段的才称为氧疗。日常生活中接触的“氧疗”则主要是指前者。
因此，可进行氧疗的除病理性缺氧及危重、意外事故病患输氧急救外，还可用于补充繁重脑力劳动者、老年人、孕妇和慢性病康复期病人的生理性缺氧，以及补充各种环境性缺氧，作为预防缺氧的，称为氧保健。其优点主要表现在：吸氧可直接提高动脉血氧含量，没有摄入对机体陌生的需要适应和解析的物质，知识改善机体的自然生理状态和生物化学环境。尤其是家用制氧机低流量氧疗和氧保健，无需专门指导，效果快速而肯定，有益而无害。
氧疗具有及时缓解缺氧症状的功效，对于消除导致缺氧的原因却只有部分的和渐进的作用。对于纠正生理性缺氧和环境性缺氧，防治由于环境性缺氧造成的疾病，氧疗是主要手段。对于纠正病理性缺氧，氧疗是重要的辅助手段。对于紧急抢救，氧疗是重要手段之一。